南通空港產業園廠房裝修中無塵車間裝修
無塵車間的相對濕度控制不當,會產生靜電電荷。當相對濕度超過50%時,靜電荷開始迅速消散,但當相對濕度小于30%時,靜電荷可以在絕緣體或不接地表面上長期存在,半導體無塵車間一般采用附加的控制裝置來限制靜電的積聚。吸水性。相對濕度控制不好,對無塵車間的吸水量有一定影響。
細菌和其他生物污染物(真菌)可以在相對濕度超過60%的環境中積極繁殖。當相對濕度超過30%時,一些植物群會生長。當相對濕度在40%到60%之間時,南通空港產業園廠房裝修細菌和呼吸道感染的影響可以最小化。因此,無塵車間的相對濕度需要控制在一定范圍內。在無塵車間,相對濕度控制不好容易引起金屬腐蝕。隨著相對濕度的增加,南通空港產業園廠房裝修包括腐蝕過程在內的許多化學反應的速率都會增加。所有暴露在無塵車間周圍空氣中的表面都會迅速覆蓋至少一層水。當這些表面由能與水反應的薄金屬涂層組成時,高濕度會加速反應。有些金屬,如鋁,可以與水形成保護性的氧化層,防止進一步氧化;另一種金屬,如銅氧化物,則不具有保護性。在高濕度環境中,銅表面更容易受到腐蝕。
水蒸氣冷凝。南通空港產業園廠房無塵室裝修在相對濕度較高的無塵車間中,濃水的毛細力在顆粒與表面之間形成粘結,增加了顆粒與硅表面的粘附力。這種效應稱為開爾文濃度,南通空港產業園廠房裝修這意味著當相對濕度小于50%時并不重要,但當相對濕度約為70%時,它成為顆粒間粘附的主要力量。
無塵車間的濕度在40%-60%之間,也是人類舒適度的中等范圍。南通空港產業園廠房裝修會使人感到悶熱,而30%以下的濕度會使人感到干燥、皮膚龜裂、呼吸不適和情緒不適,從而影響工作。
無塵車間光刻技術的退化。在半導體無塵車間,南通空港產業園廠房無塵室裝修迫切需要適當控制的是光刻膠的靈敏度。由于光致抗蝕劑對相對濕度非常敏感,其相對濕度的控制范圍極為嚴格。相對濕度和溫度對光刻膠的穩定性和尺寸的精確控制也至關重要。即使在恒溫條件下,光刻膠的粘度也會隨著相對濕度的增加而迅速降低。南通空港產業園廠房無塵室裝修會改變由固定成分涂層形成的保護膜的厚度。